大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2023-05-01 202318526 發明 半導體製程設備以及晶圓位置狀態的監測方法
2023-05-01 202318547 發明 製程腔室、半導體製程設備和半導體製程方法
2023-05-01 202318563 發明 半導體製程設備及抓取裝置
2023-04-16 202316475 發明 半導體製程設備及其阻抗匹配方法
2023-04-01 202314008 發明 金屬化合物薄膜的製備方法
2023-04-01 202314031 發明 半導體製程設備及其混合進氣裝置
2023-04-01 202314781 發明 半導體製程設備及晶圓狀態監測方法
2023-04-01 202314936 發明 遮蔽裝置和半導體製程設備
2023-04-01 202314947 發明 托架、半導體腔室及半導體製程設備
2023-04-01 202314948 發明 半導體製程設備及其晶圓支撐結構