大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2023-08-21 I813333 發明 表面活性劑及其製備方法、陶瓷件清洗方法
2023-08-21 I813373 發明 半導體製程腔室
2023-08-21 I813453 發明 托架、半導體腔室及半導體製程設備
2023-08-11 I811578 發明 等離子體系統
2023-08-11 I812073 發明 上電極電源功率調節方法和半導體製程設備
2023-08-01 202330994 發明 半導體製程設備及其製程腔室
2023-08-01 202331895 發明 製程腔室組件、半導體製程設備及其方法
2023-08-01 202331928 發明 靜電卡盤裝置和溫度控制方法
2023-08-01 202331967 發明 半導體製程設備
2023-07-21 I809388 發明 晶片清洗機的控制方法及晶片清洗機