大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-02-16 | 202308018 | 發明 | 晶圓清洗設備及其晶圓卡盤、晶圓清洗方法 |
| 2023-02-16 | 202308021 | 發明 | 半導體加工設備的物料調度方法和裝置 |
| 2023-02-01 | 202305900 | 發明 | 半導體製程腔室 |
| 2023-02-01 | 202306001 | 發明 | 製程腔室和晶圓加工方法 |
| 2023-02-01 | 202306118 | 發明 | 製備金屬薄膜的物理氣相沉積方法 |
| 2023-02-01 | 202306436 | 發明 | 基座偏壓調節裝置和方法、半導體製程設備 |
| 2023-01-16 | 202303657 | 發明 | 用於產生等離子體的線圈結構及半導體製程設備 |
| 2023-01-16 | 202303679 | 發明 | 用於產生等離子體的線圈裝置及半導體製程設備 |
| 2023-01-01 | 202300426 | 發明 | 晶圓清洗設備及其晶圓傳輸裝置 |
| 2023-01-01 | 202300636 | 發明 | 表面活性劑及其製備方法、陶瓷件清洗方法 |