大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-01-01 | 202300680 | 發明 | 磁控濺射組件、磁控濺射設備及磁控濺射方法 |
| 2023-01-01 | 202300733 | 發明 | 半導體製程設備及其晶圓傳輸系統 |
| 2023-01-01 | 202301523 | 發明 | 半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置 |
| 2022-12-16 | 202249064 | 發明 | 半導體製程設備的告警方法和半導體製程設備 |
| 2022-12-01 | 202245924 | 發明 | 陶瓷件清洗方法 |
| 2022-11-16 | 202244292 | 發明 | 半導體腔室及半導體設備 |
| 2022-11-16 | 202244478 | 發明 | 顆粒物清潔度檢測方法 |
| 2022-11-01 | 202243108 | 發明 | 卡盤裝置及半導體加工設備 |
| 2022-10-16 | 202240014 | 發明 | 等離子體增強原子層沉積設備及方法 |
| 2022-10-16 | 202240650 | 發明 | 上電極電源功率調節方法和半導體製程設備 |