大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2023-07-21 I809566 發明 製程腔室及半導體製程設備
2023-07-21 I809611 發明 擋環元件、半導體腔室及其清理方法
2023-07-21 I810071 發明 金屬化合物薄膜的製備方法
2023-07-16 202328477 發明 半導體製程設備及其承載裝置
2023-07-16 202328491 發明 半導體製程腔室的冷卻裝置及半導體製程腔室
2023-07-11 I808476 發明 機械手
2023-07-11 I808576 發明 靜電卡盤及半導體加工設備
2023-07-11 I808865 發明 半導體清洗設備及其晶圓翻轉裝置
2023-07-01 202325875 發明 半導體腔室
2023-07-01 202326333 發明 半導體製程設備及其排氣系統