大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 380 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-11-01 | I820370 | 發明 | 半導體設備的介電窗的清洗方法以及相關半導體加工設備 |
| 2023-11-01 | I820496 | 發明 | 靜電卡盤及半導體工藝設備 |
| 2023-11-01 | I820656 | 發明 | 多個製程腔室壓力的控制方法及半導體製程設備 |
| 2023-11-01 | I820987 | 發明 | 半導體製程配方獲取方法、系統及半導體製程設備 |
| 2023-11-01 | I821080 | 發明 | 半導體腔室 |
| 2023-10-21 | I819294 | 發明 | 半導體加工設備及其磁控管機構 |
| 2023-10-21 | I819727 | 發明 | 晶圓清洗設備及其晶圓卡盤、晶圓清洗方法 |
| 2023-10-16 | 202340688 | 發明 | 發射率測量裝置及方法、半導體加工設備及紅外測溫方法 |
| 2023-10-16 | 202341231 | 發明 | 半導體加工設備 |
| 2023-10-16 | 202341370 | 發明 | 晶圓校準裝置及腔室、半導體製程設備及校準方法 |