大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-07-01 | 202326335 | 發明 | 管路控溫設備和管路控溫方法 |
| 2023-07-01 | 202326508 | 發明 | 一種任務調度方法和半導體製程設備 |
| 2023-07-01 | 202326889 | 發明 | 基座接地檢測裝置和方法 |
| 2023-07-01 | 202326919 | 發明 | 半導體製程設備及其晶圓傳輸系統 |
| 2023-06-16 | 202324573 | 發明 | 晶圓清洗設備中清洗液溫度的控制裝置及晶圓清洗設備 |
| 2023-06-16 | 202324586 | 發明 | 半導體設備的片舟暫存裝置及半導體設備 |
| 2023-06-01 | 202322262 | 發明 | 半導體腔室 |
| 2023-06-01 | 202322271 | 發明 | 靜電托盤及基座 |
| 2023-05-16 | 202319947 | 發明 | 半導體製程配方獲取方法、系統及半導體製程設備 |
| 2023-05-16 | 202320206 | 發明 | 製程腔室 |