大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 380 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2022-10-16 | 202240014 | 發明 | 等離子體增強原子層沉積設備及方法 |
| 2022-10-16 | 202240650 | 發明 | 上電極電源功率調節方法和半導體製程設備 |
| 2022-10-16 | 202240765 | 發明 | 半導體製程設備中的溫度控制裝置及方法 |
| 2022-08-16 | 202232557 | 發明 | 半導體製程設備及其法拉第杯 |
| 2022-08-01 | 202230601 | 發明 | 靜電卡盤及半導體加工設備 |
| 2022-07-01 | 202225446 | 發明 | 擋環元件、半導體腔室及其清理方法 |
| 2022-06-01 | 202222104 | 發明 | 製程腔室及半導體製程設備 |
| 2022-05-01 | 202218042 | 發明 | 靜電卡盤及半導體工藝設備 |
| 2022-04-16 | 202215565 | 發明 | 阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半導體製程設備 |
| 2022-03-16 | 202211368 | 發明 | 機械手 |