大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-04-01 | 202314953 | 發明 | 靜電卡盤及半導體加工設備 |
| 2023-04-01 | 202315465 | 發明 | 下射頻電源的功率控制方法和裝置、半導體製程設備 |
| 2023-03-16 | 202311559 | 發明 | 半導體熱處理設備的氣體噴射裝置及半導體熱處理設備 |
| 2023-03-16 | 202312285 | 發明 | 半導體製程腔室、半導體製程設備和半導體製程方法 |
| 2023-03-01 | 202309967 | 發明 | 電源組件、等離子體浸沒離子注入設備及方法 |
| 2023-03-01 | 202309990 | 發明 | 目標氣體含量控制方法和半導體製程設備 |
| 2023-03-01 | 202310055 | 發明 | 半導體熱處理設備及其製程腔室內壓力的控制方法 |
| 2023-03-01 | 202310134 | 發明 | 半導體腔室及半導體制程設備 |
| 2023-02-16 | 202307919 | 發明 | 半導體清洗設備及其晶圓翻轉裝置 |
| 2023-02-16 | 202308002 | 發明 | 多個製程腔室壓力的控制方法及半導體製程設備 |