大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2023-10-01 202339066 發明 進氣組件、製程腔室及半導體製程設備
2023-10-01 I817557 發明 半導體製程設備及其混合進氣裝置
2023-10-01 I817683 發明 半導體製程腔室、半導體製程設備和半導體製程方法
2023-10-01 I817738 發明 半導體製程設備及其晶圓支撐結構
2023-09-16 202336903 發明 爐管裝卸輔助裝置
2023-09-11 I815264 發明 半導體製程設備中的溫度控制裝置及方法
2023-09-11 I815378 發明 半導體加工設備的物料調度方法和裝置
2023-09-01 202335125 發明 晶圓放置狀態檢測方法、半導體製程腔室和設備
2023-08-21 I813037 發明 阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半導體製程設備
2023-08-21 I813045 發明 半導體製程設備及其法拉第杯