大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2021-11-01 | 202140830 | 發明 | 半導體加工設備及其磁控管機構 |
| 2021-10-16 | 202138601 | 發明 | 磁控管旋轉升降機構及磁控濺射設備 |
| 2021-10-16 | 202139331 | 發明 | 半導體設備中的加熱裝置及半導體設備 |
| 2021-10-01 | 202136565 | 發明 | 薄膜製備方法 |
| 2021-08-01 | 202128293 | 發明 | 清洗裝置 |
| 2021-07-01 | 202125578 | 發明 | 半導體設備的介電窗的清洗方法以及相關半導體加工設備 |
| 2021-05-16 | 202118888 | 發明 | 濺射裝置 |
| 2021-05-16 | 202119464 | 發明 | 等離子體系統 |