大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2025-12-01 202546969 發明 形成溝槽的方法、半導體裝置的製備方法及製程設備
2025-12-01 I906529 發明 基座偏壓調節裝置和方法、半導體製程設備
2025-12-01 I906800 發明 半導體製程設備及其內襯結構
2025-12-01 I907023 發明 晶圓上光刻膠的去除方法及半導體製程設備
2025-12-01 I907321 發明 一種薄膜製備方法和半導體製程設備
2025-11-16 202544916 發明 形成半導體結構的方法、等離子體發生裝置及半導體製程設備
2025-11-16 202544987 發明 夾持機構、承載組件及晶圓清洗設備
2025-11-01 202543046 發明 物料路徑建立方法、物料調度方法、電子設備及半導體製程設備
2025-10-16 202540471 發明 半導體製程腔室和應用於半導體製程腔室的控制方法
2025-10-16 202541216 發明 半導體製程設備及其排氣處理裝置