大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 380 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2026-02-11 I915117 發明 進氣組件、進氣裝置及半導體製程腔室
2026-02-11 I915132 發明 一種參數檢測方法、電子設備及存儲介質
2026-02-11 I915164 發明 形成半導體結構的方法、等離子體發生裝置及半導體製程設備
2026-02-01 202605183 發明 半導體製程腔室
2026-02-01 202605194 發明 一種薄膜製備方法和半導體製程設備
2026-02-01 202605970 發明 檢測反應腔室中晶圓的溫度的方法和反應腔室
2026-02-01 202605985 發明 一種調節機構、半導體製程設備
2026-02-01 202605986 發明 點火裝置和半導體製程設備
2026-02-01 I913924 發明 一種含矽有機介電層的刻蝕方法和半導體製程設備
2026-02-01 I914011 發明 一種進氣裝置及半導體處理設備