大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2025-12-01 | 202546969 | 發明 | 形成溝槽的方法、半導體裝置的製備方法及製程設備 |
| 2025-12-01 | I906529 | 發明 | 基座偏壓調節裝置和方法、半導體製程設備 |
| 2025-12-01 | I906800 | 發明 | 半導體製程設備及其內襯結構 |
| 2025-12-01 | I907023 | 發明 | 晶圓上光刻膠的去除方法及半導體製程設備 |
| 2025-12-01 | I907321 | 發明 | 一種薄膜製備方法和半導體製程設備 |
| 2025-11-16 | 202544916 | 發明 | 形成半導體結構的方法、等離子體發生裝置及半導體製程設備 |
| 2025-11-16 | 202544987 | 發明 | 夾持機構、承載組件及晶圓清洗設備 |
| 2025-11-01 | 202543046 | 發明 | 物料路徑建立方法、物料調度方法、電子設備及半導體製程設備 |
| 2025-10-16 | 202540471 | 發明 | 半導體製程腔室和應用於半導體製程腔室的控制方法 |
| 2025-10-16 | 202541216 | 發明 | 半導體製程設備及其排氣處理裝置 |