大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2026-03-01 | I916818 | 發明 | 半導體加工腔室和半導體加工設備 |
| 2026-03-01 | I917135 | 發明 | 靜電卡盤電源回路電流的檢測裝置及半導體製程設備 |
| 2026-02-21 | I916110 | 發明 | 勻流組件、進氣裝置及半導體設備 |
| 2026-02-11 | I915021 | 發明 | 曲綫的獲取方法、溫度控制方法、電子設備及半導體設備 |
| 2026-02-11 | I915110 | 發明 | 電子束發生器及離子束刻蝕設備 |
| 2026-02-11 | I915117 | 發明 | 進氣組件、進氣裝置及半導體製程腔室 |
| 2026-02-11 | I915132 | 發明 | 一種參數檢測方法、電子設備及存儲介質 |
| 2026-02-11 | I915164 | 發明 | 形成半導體結構的方法、等離子體發生裝置及半導體製程設備 |
| 2026-02-01 | 202605194 | 發明 | 一種薄膜製備方法和半導體製程設備 |
| 2026-02-01 | 202605970 | 發明 | 檢測反應腔室中晶圓的溫度的方法和反應腔室 |