大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2025-07-16 | 202529248 | 發明 | 靜電卡盤電源回路電流的檢測裝置及半導體製程設備 |
| 2025-07-01 | 202526089 | 發明 | 用於氣相沉積製程腔室的上襯環、下襯環、進氣襯體和內襯及具有氣相沉積製程腔室的半導體製程設備 |
| 2025-07-01 | 202527172 | 發明 | 曲綫的獲取方法、溫度控制方法、電子設備及半導體設備 |
| 2025-06-16 | 202524640 | 發明 | 半導體製程設備的補水控制方法 |
| 2025-06-01 | 202521729 | 發明 | 半導體加工設備的製程腔室、半導體加工設備 |
| 2025-06-01 | 202521830 | 發明 | 門體驅動機構、製程腔室及半導體製程設備 |
| 2025-05-16 | 202519683 | 發明 | 用於半導體製程腔室的輔助控溫裝置及半導體製程腔室 |
| 2025-05-16 | 202519795 | 發明 | 進氣控制方法、供氣系統和半導體製程設備 |
| 2025-05-16 | 202520021 | 發明 | 溫度補償方法、溫度補償裝置和製程腔室 |
| 2025-05-01 | 202518517 | 發明 | 半導體製程設備的點火腔室、半導體製程設備和控制方法 |