大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 380 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2026-01-21 I912861 發明 半導體製程設備及其排氣系統
2026-01-21 I912962 發明 半導體製程設備的點火腔室、半導體製程設備和控制方法
2026-01-16 202602571 發明 快排閥結構及清洗裝置
2026-01-11 I911818 發明 半導體加工設備的製程腔室、半導體加工設備
2026-01-11 I911847 發明 門體驅動機構、製程腔室及半導體製程設備
2026-01-11 I911934 發明 溫度補償方法、溫度補償裝置和製程腔室
2026-01-11 I912008 發明 爐門驅動裝置及半導體熱處理設備
2026-01-11 I912057 發明 半導體製程腔室及其升降機構
2026-01-11 I912104 發明 起吊裝置及半導體製程設備
2025-12-21 I909571 發明 製程腔室的潔淨度檢測方法和製程腔室