大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2025-10-01 202538927 發明 用於半導體製程設備的噴淋結構及半導體製程設備
2025-09-16 202536260 發明 一種進氣裝置及半導體處理設備
2025-09-16 202536316 發明 閥體結構及半導體製程設備
2025-09-16 202536918 發明 用於製程腔室的開蓋機構及半導體製程設備
2025-09-16 202537037 發明 電連接結構、下電極組件和製程腔室
2025-08-16 202533354 發明 起吊裝置及半導體製程設備
2025-08-16 202533366 發明 對中裝置和對中方法
2025-08-01 202530465 發明 進氣組件、進氣裝置及半導體製程腔室
2025-08-01 202530474 發明 勻流組件、進氣裝置及半導體設備
2025-08-01 202530618 發明 爐門驅動裝置及半導體熱處理設備