大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2026-01-11 | I912057 | 發明 | 半導體製程腔室及其升降機構 |
| 2026-01-11 | I912104 | 發明 | 起吊裝置及半導體製程設備 |
| 2025-12-21 | I909571 | 發明 | 製程腔室的潔淨度檢測方法和製程腔室 |
| 2025-12-21 | I909766 | 發明 | 進氣控制方法、供氣系統和半導體製程設備 |
| 2025-12-21 | I910054 | 發明 | 接口裝置及其驅動機構、半導體製程設備 |
| 2025-12-16 | 202548907 | 發明 | 形成溝槽結構的方法及半導體製程設備 |
| 2025-12-16 | 202549010 | 發明 | 接口裝置及其驅動機構、半導體製程設備 |
| 2025-12-11 | I908226 | 發明 | 離子能量控制系統以及控制方法 |
| 2025-12-11 | I908245 | 發明 | 溫度控制裝置、方法及半導體製程設備 |
| 2025-12-11 | I908384 | 發明 | 籽晶層的製備方法、金屬互連製程方法及半導體製程設備 |