大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2026-04-01 I921131 發明 半導體製程腔室和應用於半導體製程腔室的控制方法
2026-03-21 I919250 發明 半導體器件的製造方法
2026-03-21 I919298 發明 載片機構、移載機構和半導體製程設備
2026-03-21 I919310 發明 半導體製程設備及其晶圓位置獲取、校準裝置和方法
2026-03-21 I919510 發明 用於氣相沉積製程腔室的上襯環、下襯環、進氣襯體和內襯及具有氣相沉積製程腔室的半導體製程設備
2026-03-21 I919638 發明 半導體製程設備
2026-03-21 I919785 發明 電連接結構、下電極組件和製程腔室
2026-03-21 I919959 發明 點火裝置和半導體製程設備
2026-03-01 202609949 發明 上電極組件和半導體製程腔室以及半導體製程設備
2026-03-01 202609970 發明 載台裝置和半導體製程設備