大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2023-12-16 202349542 發明 半導體製程設備
2023-12-16 202349600 發明 控溫裝置及半導體製程設備
2023-12-01 202346631 發明 半導體熱處理設備及其控制方法
2023-12-01 202347585 發明 半導體製程設備及校準裝置
2023-12-01 I824471 發明 等離子體增強原子層沉積設備及方法
2023-12-01 I824691 發明 半導體熱處理設備的氣體噴射裝置及半導體熱處理設備
2023-11-21 I823373 發明 顆粒物清潔度檢測方法
2023-11-21 I823533 發明 電源組件、等離子體浸沒離子注入設備及方法
2023-11-16 202344703 發明 半導體製程設備及形成疊層薄膜結構的方法
2023-11-16 202344767 發明 閥控制裝置和方法、半導體加工設備