大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 380 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2025-07-16 | 202528566 | 發明 | 一種磁控管的形成方法、磁控管和磁控濺射設備 |
| 2025-07-16 | 202529169 | 發明 | 電子束發生器及離子束刻蝕設備 |
| 2025-07-16 | 202529199 | 發明 | 邊緣進氣裝置、半導體製程腔室及半導體製程設備 |
| 2025-07-16 | 202529227 | 發明 | 半導體製程設備及其控制方法 |
| 2025-07-16 | 202529229 | 發明 | 清洗裝置、清洗方法及半導體製程設備 |
| 2025-07-16 | 202529248 | 發明 | 靜電卡盤電源回路電流的檢測裝置及半導體製程設備 |
| 2025-07-01 | 202526089 | 發明 | 用於氣相沉積製程腔室的上襯環、下襯環、進氣襯體和內襯及具有氣相沉積製程腔室的半導體製程設備 |
| 2025-07-01 | 202527172 | 發明 | 曲綫的獲取方法、溫度控制方法、電子設備及半導體設備 |
| 2025-06-16 | 202524640 | 發明 | 半導體製程設備的補水控制方法 |
| 2025-06-01 | 202521729 | 發明 | 半導體加工設備的製程腔室、半導體加工設備 |