大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2025-02-16 202507800 發明 離子能量控制系統以及控制方法
2025-02-16 202507899 發明 半導體製程設備及其排氣系統
2025-02-16 202507904 發明 載片機構、移載機構和半導體製程設備
2025-02-01 202504695 發明 製程腔室的清洗方法及半導體製程設備
2024-12-01 202447122 發明 半導體製程設備
2024-11-21 I862941 發明 晶圓清洗設備及其晶圓傳輸裝置
2024-11-21 I863226 發明 半導體製程設備及形成疊層薄膜結構的方法
2024-11-21 I863821 發明 半導體製程腔室和半導體製程方法
2024-11-16 202444958 發明 半導體製程腔室和半導體製程方法
2024-11-11 I862249 發明 半導體製程腔室及半導體製程設備