大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2024-10-01 202439446 發明 半導體製程設備及其內襯結構
2024-10-01 I857372 發明 製程腔室
2024-10-01 I857458 發明 靜電卡盤裝置和溫度控制方法
2024-10-01 I857627 發明 半導體製程設備及其製程腔室和托盤的檢測方法
2024-09-21 I856377 發明 半導體製程設備及其阻抗匹配方法
2024-09-21 I856558 發明 晶圓校準裝置及腔室、半導體製程設備及校準方法
2024-09-21 I856603 發明 半導體製程腔室及其上電極結構
2024-09-11 I855649 發明 磁控管裝置及磁控濺射設備
2024-09-11 I855758 發明 製程腔室、半導體製程設備及製程方法
2024-08-21 I853230 發明 卡盤裝置及半導體加工設備