大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2024-07-01 I847454 發明 基座接地檢測裝置和方法
2024-07-01 I847495 發明 半導體製程設備及其製程腔室
2024-07-01 I847565 發明 爐管裝卸輔助裝置
2024-07-01 I847611 發明 抽真空系統、半導體製程設備及其抽真空方法
2024-06-16 202425213 發明 靜電卡盤、下電極组件及半導體處理設備
2024-06-01 202421829 發明 半導體製程設備的進氣系統、半導體製程設備及進氣方法
2024-05-21 I842997 發明 矽片清洗機
2024-05-21 I843141 發明 用於產生等離子體的線圈結構及半導體製程設備
2024-05-21 I843321 發明 半導體製程設備及其排氣系統
2024-05-21 I843379 發明 半導體製程設備