大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-03-21 | I836411 | 發明 | 半導體腔室及半導體設備 |
| 2024-03-21 | I836483 | 發明 | 半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置 |
| 2024-03-21 | I836514 | 發明 | 製備金屬薄膜的物理氣相沉積方法 |
| 2024-03-01 | 202409518 | 發明 | 製程腔室及平行度的檢測方法 |
| 2024-02-21 | I833449 | 發明 | 靜電托盤及基座 |
| 2024-02-01 | 202406007 | 發明 | 晶圓承載裝置及其調節機構、半導體製程設備 |
| 2024-01-21 | I830011 | 發明 | 薄膜製備方法 |
| 2024-01-21 | I830326 | 發明 | 目標氣體含量控制方法和半導體製程設備 |
| 2024-01-21 | I830410 | 發明 | 半導體製程設備及晶圓狀態監測方法 |
| 2024-01-21 | I830432 | 發明 | 製程腔室、半導體製程設備和半導體製程方法 |