大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

總計 338 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2024-01-01 I828169 發明 磁控濺射組件、磁控濺射設備及磁控濺射方法
2024-01-01 I828437 發明 半導體設備的片舟暫存裝置及半導體設備
2024-01-01 I828481 發明 半導體製程設備及其晶圓傳輸系統
2024-01-01 I828498 發明 製程腔室組件、半導體製程設備及其方法
2023-12-21 I826742 發明 濺射裝置
2023-12-21 I827177 發明 製程腔室和晶圓加工方法
2023-12-21 I827210 發明 半導體熱處理設備及其製程腔室內壓力的控制方法
2023-12-21 I827326 發明 半導體製程設備以及晶圓位置狀態的監測方法
2023-12-21 I827403 發明 管路控溫設備和管路控溫方法
2023-12-21 I827506 發明 承載件和半導體製程設備