大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 338 筆資料
資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-01-01 | I828169 | 發明 | 磁控濺射組件、磁控濺射設備及磁控濺射方法 |
| 2024-01-01 | I828437 | 發明 | 半導體設備的片舟暫存裝置及半導體設備 |
| 2024-01-01 | I828481 | 發明 | 半導體製程設備及其晶圓傳輸系統 |
| 2024-01-01 | I828498 | 發明 | 製程腔室組件、半導體製程設備及其方法 |
| 2023-12-21 | I826742 | 發明 | 濺射裝置 |
| 2023-12-21 | I827177 | 發明 | 製程腔室和晶圓加工方法 |
| 2023-12-21 | I827210 | 發明 | 半導體熱處理設備及其製程腔室內壓力的控制方法 |
| 2023-12-21 | I827326 | 發明 | 半導體製程設備以及晶圓位置狀態的監測方法 |
| 2023-12-21 | I827403 | 發明 | 管路控溫設備和管路控溫方法 |
| 2023-12-21 | I827506 | 發明 | 承載件和半導體製程設備 |