天虹科技股份有限公司 相關專利權資料
總計 51 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2026-02-11 | M680130 | 新型 | 鍵合機台的吸附式承載盤 |
| 2026-02-01 | M679639 | 新型 | 基板的輸送及對位設備 |
| 2026-02-01 | M679694 | 新型 | 鍵合機台的平行度檢測裝置及鍵合機台的平行度檢測設備 |
| 2026-02-01 | M679789 | 新型 | 晶圓鍵合結構 |
| 2025-12-21 | I909933 | 發明 | 沉積腔體的清潔方法 |
| 2025-12-21 | I910035 | 發明 | 用以減少背面沉積的沉積設備 |
| 2025-02-16 | 202507036 | 發明 | 腔體內微粒去除方法 |
| 2025-02-16 | 202507836 | 發明 | 一種去除SiC晶圓表面碳析出的方法 |
| 2024-11-21 | I863231 | 發明 | 一種以電漿輔助的製程替代週期性保養的方法 |
| 2024-11-21 | I863485 | 發明 | 腔體內微粒去除方法 |