普思半導體股份有限公司 相關專利權資料

總計 15 筆資料

資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。

公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2024-04-16 202416048 發明 用於半導體製程的對位檢測圖案、疊對誤差校正方法，及對位校正系統
2024-02-11 I832479 發明 用於半導體製程的對位檢測圖案、疊對誤差校正方法，及對位校正系統
2023-11-11 M648073 新型 半導體圖案化製程的檢測系統
2023-07-21 I809696 發明 微影圖案疊對校正方法、光罩圖案產生方法，及系統
2022-08-16 202232254 發明 微影圖案疊對校正方法、光罩圖案產生方法，及系統