大永真空設備股份有限公司 相關專利權資料
總計 19 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2026-02-11 | M680228 | 新型 | 可防止靶材中毒的反應式濺鍍裝置 |
| 2026-01-21 | M679400 | 新型 | 可旋轉之鍍膜傘架 |
| 2026-01-21 | M679547 | 新型 | 掛板固定模組、濺鍍機及其掛板架和掛板 |
| 2026-01-01 | M678768 | 新型 | 光學元件蒸鍍機抽風柵 |
| 2026-01-01 | M678786 | 新型 | 可降低腔內濕度的濺鍍裝置及其濺鍍腔 |
| 2024-11-11 | I861840 | 發明 | 電漿監控裝置 |
| 2024-11-01 | 202443128 | 發明 | 電漿監控裝置 |
| 2024-11-01 | I860660 | 發明 | 一種碳矽化合物製備方法 |
| 2024-10-01 | 202438693 | 發明 | 一種碳矽化合物製備方法 |